氮化硅發(fā)熱體是一類重要的高溫結(jié)構(gòu)陶瓷，具有熱膨脹系數(shù)小、硬度大、彈性模量高以及熱溫度性能、化學(xué)穩(wěn)定性、緣性好等特點(diǎn)，此外它還耐氧化，耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn)使之具有的應(yīng)用前景。純的氮化硅在室溫時(shí)不吸收微波能，近乎微波透明物質(zhì)，依靠自身的介電損耗來加熱。如何促使樣品均勻地升溫到燒結(jié)溫度是燒結(jié)的關(guān)鍵。氮化硅陶瓷的介電損耗不但很低而且隨溫度變化不大，其導(dǎo)熱性也非良好，在升溫中，樣品開裂打弧或局部過熱等現(xiàn)象不可會(huì)出現(xiàn)。

使用高純?chǔ)?Si3N4粉為原料，Al2O3、Y2O3為助燒劑，添加量1，混合后以酒精為介質(zhì)，用Al2O3球球磨24h，干燥分散后，將粉先用30MPa壓力預(yù)壓后用200MPa等靜壓，壓成24×12(mm)的樣品。用2.45GHz、6kW微波爐，升溫速率25℃/min;常規(guī)燒結(jié)采用石墨爐無壓燒結(jié)，燒成制度與微波燒結(jié)相同，且均在氮?dú)鈿夥罩袩伞?/p>

由于γ-Si3N4低溫時(shí)在微波中的損耗很小，需要用SiC作為低溫吸收微波的發(fā)熱體，當(dāng)樣品溫度起過臨界溫度1390℃后，就會(huì)吸收微波自身發(fā)熱。結(jié)果顯示微波可以α-Si3N4的α相向β相轉(zhuǎn)變的速度，密度。比較微波燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)1750℃樣品的掃描電鏡圖，在同樣配方、同樣燒結(jié)制度下，微波燒結(jié)材料的基質(zhì)中有較大的長形顆粒，保溫2h后長形顆粒的比例及顆粒度都有了而常規(guī)燒結(jié)的樣品即使保溫5h也沒有這樣的在微波燒結(jié)中1725℃就可形成針狀的β-Si3N4樣品，而常規(guī)燒結(jié)1800℃也無法獲得這樣多并且針狀的β-Si3N4。