氮化硅電熱塞在后來的數(shù)十年中直到應(yīng)用氮化硅的商業(yè)用途出現(xiàn)前，氮化硅未受到重視和研究。從1948年至1952年期間，艾奇遜開辦在紐約州尼亞加拉大瀑布附近的金剛砂公司為氮化硅的制造和使用注冊(cè)了幾項(xiàng)專利。1958年聯(lián)合碳化物公司生產(chǎn)的氮化硅被用于制造熱電偶管、火箭噴嘴和熔化金屬所使用的坩堝。英國對(duì)氮化硅的研究工作始于1953年，目的是為了制造燃?xì)鉁u輪機(jī)的高溫零件。由此使得鍵合氮化硅和熱壓氮化硅得到發(fā)展。1971年美國國防部下屬的國防高等研究計(jì)劃署與福特和西屋公司簽訂一千七百萬美元的合同研制兩種陶瓷燃?xì)廨啓C(jī)。

雖然氮化硅的特性已經(jīng)早已廣為人知，但在地球自然界中存在的氮化硅(大小約為2×5μm)還是在二十世紀(jì)90年代才在隕石中被發(fā)現(xiàn)。為紀(jì)念質(zhì)譜研究的先驅(qū)阿爾弗雷德·奧托·卡爾·尼爾將自然界中發(fā)現(xiàn)的此類氮化硅礦石冠名為"nierite"。不過有證據(jù)顯示可能在更早之前就在前蘇聯(lián)境內(nèi)的阿塞拜疆發(fā)現(xiàn)過這種存在于隕石中的氮化硅礦石。含有氮化硅礦物的隕石也曾在中國貴州省境內(nèi)發(fā)現(xiàn)過。除存在于地球上的隕石中以外，氮化硅也分布于外層空間的宇宙塵埃中。由木炭、煤塊或焦炭與粘土混合得到)混合后在高爐中加熱得到的產(chǎn)物，并把它報(bào)道為成分是Si3N4的化合物。1910年路德維希·魏斯和特奧多爾·恩格爾哈特在純的氮?dú)庀录訜峁鑶钨|(zhì)得到了Si3N4。1925年Friederich和Sittig利用碳熱還原法在氮?dú)鈿夥障聦⒍趸韬吞技訜嶂?250-1300℃合成氮化硅